Предназначен для эмиссионных актинометрических измерений концентрации активных частиц в плазмохимических процессах, а также для определения момента окончания процесса травления. Прибор позволяет оптимизировать технологические процессы, применяемые в производстве СБИС и нанесении сверхпрочных покрытий. Прямые актинометрические измерения концентрации химически активных частиц, осуществляемые с помощью предлагаемого акустооптического спектрометра, позволяют многократно сократить затраты на стадиях разработки и оптимизации плазмохимического процесса. Спектральный диапазон: 250…420 и/или 415…820 нм.
Видео отсутствует
